MMF加速度计包含通用型、高精度两个系列。主要用于测量三轴加速度的传感器,三轴中的每一轴加速度传感器均采用MEMS芯片,具有高性能、低价位、高可靠性和高封装坚固性,并具备温度传感器输出、自检测功能,可实现温补和BIT。
本加速度计由检测质量、支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳体组成。检测质量受支承的约束只能沿一条轴线移动,这个轴常称为输入轴或敏感轴。当仪表壳体随着运载体沿敏感轴方向作加速运动时,根据牛顿定律,具有一定惯性的检测质量力图保持其原来的运动状态不变。它与壳体之间将产生相对运动,使弹簧变形,于是检测质量在弹簧力的作用下随之加速运动。当弹簧力与检测质量加速运动时产生的惯性力相平衡时,检测质量与壳体之间便不再有相对运动,这时弹簧的变形反映被测加速度的大小。电位器作为位移传感元件把加速度信号转换为电信号,以供输出。加速度计本质上是一个一自由度的振荡系统,须采用阻尼器来改善系统的动态品质。
MMF加速度计的性能指标:
1、按照IEEE 1293-1998 12.3.8的规定在20℃时测量48小时;测量前稳定1小时。
2、1年稳定性根据IEEE 528-2001定义为:上电/上电,存储于-55℃和85℃,在-40℃~125℃之间T循环,-55℃~85℃掉电干扰、振动和冲击。
3、温度系数指在-40~20℃范围内,在此范围内输出表现典型值呈线性。
4、带宽定义为灵敏度降低小于3dB的频率范围。